空氣中的灰塵和機(jī)械雜質(zhì)由空氣Bai過濾器Du去除，并在無油空氣壓縮機(jī)中壓縮至<0.7MPa。壓縮產(chǎn)生的熱刀經(jīng)水冷器換熱后被冷卻水帶走，進(jìn)入預(yù)冷機(jī)組預(yù)冷至（2～10）℃。在此階段，部分游離水被分離，然后進(jìn)入分子篩凈化器（ms1201或ms1202）進(jìn)行切換?？諝庵袣埩舻乃魵?、二氧化碳、乙炔和其他碳?xì)浠衔锉晃健７肿雍Y凈化器的兩個(gè)吸附筒交替使用，一個(gè)工作，另一個(gè)再生。兩組凈化器吸附缸由程序控制器控制，定時(shí)自動(dòng)切換。

凈化器的凈化干燥空氣溫度升至~15℃。分為兩部分：大部分空氣進(jìn)入空分冷卻箱，與主板翅式換熱器中的回流冷空氣流（純氧、純氮、污水氮、壓力氮?dú)猓┻M(jìn)行換熱。溫度降至接近液化溫度，經(jīng)V1閥節(jié)流后進(jìn)入下塔。

另一部分空氣進(jìn)入增壓器增壓后，約100m3/h的氣體作為透平膨脹機(jī)機(jī)組的氣體軸承用氣，其余部分進(jìn)入冷箱，與主板翅式換熱器內(nèi)的回流冷空氣流（純氧、純氮、污水氮等）進(jìn)行換熱，然后通過中間抽汽閥V5或底吸閥V6泵出，進(jìn)入膨脹機(jī)的膨脹制冷。膨脹空氣通過V12閥進(jìn)入塔或通過V11閥旁路進(jìn)入污水氮?dú)夤艿?，?jīng)主換熱器再熱后排入冷箱。

在下塔中，空氣最初分為液氮和富氧液態(tài)空氣。冷凝蒸發(fā)器中上升的氮?dú)馀c上塔底部的低壓液氧進(jìn)行換熱，低壓液氧同時(shí)液化汽化。液氮分為兩路，一路通過V4閥作為下塔回流液進(jìn)入下塔，另一路經(jīng)冷卻器與純氮和污氮換熱后通過V3閥進(jìn)入上塔上部。下塔富氧液氣從塔底抽出，經(jīng)冷卻器用純氮?dú)夂臀鄣獨(dú)膺^冷后，經(jīng)V2閥節(jié)流作為回流液送入上塔。

進(jìn)一步蒸餾后，在上塔頂部獲得高純度氮?dú)?，在上塔底部獲得氧氣。純氮從上塔頂部抽出，經(jīng)冷卻器和主換熱器重新加熱后，送入冷箱壓縮灌裝或液化；污染氮?dú)鈴纳纤喜砍槌?，?jīng)冷卻器和主換熱器重新加熱，然后出主換熱器冷盒子的。一部分用作凈化器的再生氣體，另一部分排放。氧氣經(jīng)主換熱器重新加熱后，由冷箱送出壓縮充液或液化，再加熱加壓，強(qiáng)制氮?dú)馔ㄟ^主換熱器，加熱器由冷箱送出。